• 小型エキシマレーザー
    MLI シリーズ

    エキシマ

    最大平均出力16W
    最大パルスエネルギー16mJ
    最大繰り返し周波数1000Hz

    低価格でR&D用途、産業用途にも対応したMLIシリーズです。長いガス寿命、操作性に優れたソフトウエアで簡単にオペレーションが可能です。

    詳しくはこちら
  • 中型エキシマレーザー
    IPEX-700 シリーズ

    エキシマ

    最大平均出力40W
    最大パルスエネルギー700mJ
    最大繰り返し周波数100Hz

    経済的なIPEX700シリーズはトータルコストを最小限に抑え、長時間の運転を可能としています。応用範囲はセラミックスのマーキングから、微細加工まで多岐にわたっています。PLD(パルスレーザーデポジション)、リフト・オフ・プロセス、表面改質、アニーリング、等。高品質のビーム、安定したエネルギー、優れたポインティングスタビリティ。高い安定光学マウントを採用、PLD用途にも最適。メンテナンスは片側アクセス、発振ガスを充填したまま、共振器のクリーニングが可能

    詳しくはこちら
  • 大型エキシマレーザー
    IPEX-800 シリーズ

    エキシマ

    最大平均出力80W
    最大パルスエネルギー700mJ
    最大繰り返し周波数200Hz

    製造に要求される厳しい環境にも対応できるように設計されたIPEXシリーズは、高繰り返し、長時間ガスライフによる低ランニングコストが特長の、高品質な加工を行うことのできる高出力エキシマレーザーです。

    詳しくはこちら