小型エキシマレーザーMLIシリーズは、研究開発から試作/小中規模生産ライン用に設計された新世代のコンパクトな高繰り返し空冷エキシマレーザーです。圧倒的に長くなったガス寿命によりガス交換の頻度が大幅に減少しました。高い信頼性の固体スイッチ回路と共に安定した運転を可能とします。また大型のエキシマレーザーよりも短い5~10nsのパルス幅で高品質なアブレーション加工を行うことができます。
特長
- オールメタルチューブによる長ガス寿命
- コロナ予備放電による安定性の向上
- 固体スイッチ電源によりウォーミングアップ不要
- 高品質ビームプロファイル
- ポンプ/フィルターを内蔵した省スペース構造
主な用途
- 微細加工:微小穴加工、薄膜除去加工等
- ファイバーグレーティング
- 質量分析:LA-ICP-MS、TOF-MS、APLI
- マーキング:コンタクトレンズ、メガネレンズ
- 半導体検査装置光源
モデル 200/500/1000 エキシマレーザー
発振ガス | ArF | ArF | ArF | KrF | KrF | KrF |
---|---|---|---|---|---|---|
発振波長(nm) | 193 | 193 | 193 | 248 | 248 | 248 |
最大繰返し数(Hz) | 200 | 500 | 1000 | 200 | 500 | 1000 |
最大パルスエネルギー(mJ) | 6 | 6 | 6 | 10 | 10 | 10 |
最大平均出力(W) | 1.2 | 3.0 | 6.0 | 2.0 | 5.0 | 10 |
エネルギー安定性(%) | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
ビームサイズ(mm) | 6×3 | 6×3 | 6×3 | 6×3 | 6×3 | 6×3 |
ビーム拡がり角(mrad) | 2×1 | 2×1 | 2×1 | 2×1 | 2×1 | 2×1 |
パルス幅(ns) | 5-10 | 5-10 | 5-10 | 5-15 | 5-15 | 5-15 |
本体サイズ/重量/冷却方法 | 560 x 355 x 445mm/80kg/水冷 | |||||
※上記仕様は全ての項目における最適値の仕様です。 ユーザーのご要望に合わせたカスタム仕様で提案をさせて頂きます。 ご希望の仕様を弊社営業部までお知らせください。 |
生産用モデル(水冷) 500LC/1000LC エキシマレーザー
発振ガス | ArF | ArF | ArF | KrF |
---|---|---|---|---|
発振波長(nm) | 193 | 193 | 248 | 248 |
最大繰返し数(Hz) | 500 | 1000 | 500 | 1000 |
最大パルスエネルギー(mJ) | 6 | 6 | 10 | 10 |
最大平均出力(W) | 3.0 | 6.0 | 5.0 | 10 |
エネルギー安定性(%) | 2 | 2 | 2 | 2 |
ビームサイズ(mm) | 6×3 | 6×3 | 6×3 | 6×3 |
ビーム拡がり角(mrad) | 2×1 | 2×1 | 2×1 | 2×1 |
パルス幅(ns) | 5-10 | 5-10 | 5-15 | 5-15 |
本体サイズ/重量/冷却方法 | 560 x 355 x 445mm/80kg/水冷 | |||
※上記仕様は全ての項目における最適値の仕様です。 ユーザーのご要望に合わせたカスタム仕様で提案をさせて頂きます。 ご希望の仕様を弊社営業部までお知らせください。 |
ハイパワーモデル(水冷) HP-200LC/500LC/1000LC
生産用モデルにハイパワータイプ(KrF:波長248nm)が新たにラインナップ
MLIシリーズの特長そのままに、20mJ (200Hz)を得ることが可能
MLIシリーズの特長そのままに、20mJ (200Hz)を得ることが可能
発振ガス | KrF | KrF | KrF |
---|---|---|---|
発振波長(nm) | 248 | 248 | 248 |
最大繰返し数(Hz) | 200 | 500 | 1000 |
最大パルスエネルギー(mJ) | 20 | 18 | 16 |
最大平均出力(W) | 4 | 9 | 16 |
エネルギー安定性(%) | 2 | 2 | 3 |
ビームサイズ(mm) | 6x3 | 6x3 | 6x3 |
ビーム拡がり角(mrad) | 2x1 | 2x1 | 2x1 |
パルス幅(ns) | 5-15 | 5-15 | 5-15 |
本体サイズ/重量/冷却方法 | 560 x 355 x 445mm/80kg/水冷 | ||
※上記仕様は全ての項目における最適値の仕様です。 ユーザーのご要望に合わせたカスタム仕様で提案をさせて頂きます。 ご希望の仕様を弊社営業部までお知らせください。 |