主な用途

  • 強化ガラス,サファイアなどの切断,穴あけ
  • 有機EL,太陽電池などの薄膜除去加工
  • 炭素繊維(CFRP)の切断,穴あけ加工
  • 各種金属の微小穴あけ,精密切断
  • 精密金型加工,精密製版加工
  • 燃料噴射ノズル,インクジェットノズル加工
  • 加工用途 各種微細加工: 金属、セラミック、シリコン、強化ガラス CFRP(炭素繊維)等 燃料噴射ノズル、インクジェットノズル加工 有機EL、太陽電池等の薄膜除去加工

仕様

波長[nm] 1064 532 355 266
ビーム品質 M2 <1.1 <1.1 1.5 2
最大平均出力 [W] 400 200 90 20
最大繰り返し周波数 [MHz] 100 100 100 100
最大パルスエネルギー [uJ] 2000 1000 200 200
パルス幅典型値 [ps] <12 <12 <12 <12
レーザーヘッド重量 [kg] 50 50 50 50

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