主な用途
- 強化ガラス,サファイアなどの切断,穴あけ
- 有機EL,太陽電池などの薄膜除去加工
- 炭素繊維(CFRP)の切断,穴あけ加工
- 各種金属の微小穴あけ，精密切断
- 精密金型加工，精密製版加工
- 燃料噴射ノズル,インクジェットノズル加工
- 加工用途 各種微細加工: 金属、セラミック、シリコン、強化ガラス CFRP(炭素繊維)等 燃料噴射ノズル、インクジェットノズル加工 有機EL、太陽電池等の薄膜除去加工
仕様
| 波長[nm] | 1064 | 532 | 355 | 266 |
|---|---|---|---|---|
| ビーム品質 M2 | <1.1 | <1.1 | 1.5 | 2 |
| 最大平均出力 [W] | 400 | 200 | 90 | 20 |
| 最大繰り返し周波数 [MHz] | 100 | 100 | 100 | 100 |
| 最大パルスエネルギー [uJ] | 2000 | 1000 | 200 | 200 |
| パルス幅典型値 [ps] | <12 | <12 | <12 | <12 |
| レーザーヘッド重量 [kg] | 50 | 50 | 50 | 50 |