ポリカーボネート、PET、PMMAなどの樹脂系材料の微細加工に最適
微細形状加工を得意とし、深さに対しても微細な制御が可能ランニングコストでは固体レーザーを使用した場合と比べてもほぼ同等（Dutycycle30％時）

小型エキシマレーザーを搭載し、コンパクトな装置として限られたスペースにも設置可能リアルタイムモニターで確認しながら加工状態の確認や調整を行うことが出来ます。