LDBは、高速レーザーリフトオフ(LLO)用に最適化された装置です。 この装置は、柔軟なワークステーションとホモジェナイザーと連動したレーザーを組み合わせて、高スループットの生産用ラインビームを作成します。
ビームの長さは調整可能で、用途に応じて自動的に切り替えられます。 オートメーション化は、オートプリアライメント、ロボティクス、マシンビジョンを含むカセットまたはウェハローディングのオプションとして提供できます。
特長
- モーター X,Y,Z 軸
- レーザー波長 308nm (オプション 248nm)
- ラインビーム長 <45mm
- 最大エネルギー密度 600mJ/cm2
- Off Axis Vision
- 使いやすいソフトウエア
- CAD対応
- グラナイト構造
- クラス 1 レーザー加工装置 (インターロック完備)
構成
- 波長: 248nm もしくは 308nm
- エネルギー密度: 50〜600mJ/cm2
- 繰り返し周波数: 最大200Hz
- ラインビーム長: 22 もしくは 45mm、75mm(オプション)
- ラインビーム: 1 もしくは 1.2mm
- 焦点深度: >0.5mm
- 焦点範囲: 25mm
- アッテネーション範囲: 5-100%
オプション
- ラインビーム長調整
- 75mm ラインビーム
- 完全オートメーションローディング/アンローディング
- モーターシータステージ
- 加工面でのビームプロファイラー
- 加工面でのパワーメーター
位置決め
- ワークエリア: 200x200mm
- 駆動範囲: 450x300mm
- 位置決め精度: 1µm
- 繰り返し精度: <2µm
- 絶対精度: <2µm (DMC校正)