ISシリーズはINNOSLABレーザーとしては中高出力域のモデルでDXシリーズのほぼ半分の出力を発生します。すなわち最小4nsのパルス幅、150kHzの最大パルス繰返し数は上記2モデルと同等ながら、最大出力は200W、最大パルスエネルギーは30mJとなります。用途に合わせた4波長(1064、532、355、266nm)のモデルがあり、主として中/高出力を必要とするアプリケーションに適しています。

*装置仕様はご希望に合わせてカスタマイズされます。

  • 流速計測(PIV/PTV)用光源
  • レーザー励起蛍光分析(LIF)用根源
  • プラズマ発生光源
  • 加工用途: 各種微細加工, 金属、セラミック、シリコン、強化ガラス等 薄膜パターニング、太陽電池、液晶等

※仕様はカスタムでご提案いたします。
ご希望の出力、繰返周波数、パルスエネルギーなどをお知らせください。

仕様

モデルISxxx-1ISxxx-2ISxxx-3ISxxx-4
波長IRGreenUVDUV
最大平均出力400W200W70W20W
最大繰り返し周波数150kHz150kHz15kHz15kHz
最大パルスエネルギー [µJ]60mJ30mJ15mJ4mJ
最小パルス幅 [ns]1ns1ns1ns1ns
ビーム品質 M21.11.11.62
エネルギ安定性 [%] rms1234
タイミングの安定性 [ns]5555
偏光方> 100:1> 100:1> 100:1> 100:1
ビーム楕円率 [%]<10<10<10<10
窓の直径 [mm]3mm3mm3mm3mm
発散角 [μrad]500µrad250µrad250µrad225µrad
ポインティング・スタビリティ [μrad]<50<60<50<50
ウォームアップ (低温 始動時)「分」<15<20<30<30
ウォームアップ (待機)「分」
<8<15<30<30
電源供給90-264v, 5/60Hz, 1-4kW
180-264V, 50/60Hz, 1-4kW
90-264v, 5/60Hz, 1-4kW
180-264V, 50/60Hz, 1-4kW
90-264v, 5/60Hz, 1-4kW
180-264V, 50/60Hz, 1-4kW
90-264v, 5/60Hz, 1-4kW
180-264V, 50/60Hz, 1-4kW
チラー230, 208, 115, 100V, 50/60Hz, 1kW-4kW230, 208, 115, 100V, 50/60Hz, 1kW-4kW230, 208, 115, 100V, 50/60Hz, 1kW-4kW230, 208, 115, 100V, 50/60Hz, 1kW-4kW
動作温度域15°c~35°c15°c~35°c15°c~35°c15°c~35°c
相対湿度10%~80%10%~80%10%~80%10%~80%
レーザーヘッド寸法(mm)650mm×178mmx157mm650mm×178mmx157mm650mm×178mmx157mm650mm×178mmx157mm
レーザーヘッド重量 [kg]34kg34kg34kg34kg

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