超小型LED露光装置UV-KUBシリーズ

UV-KUB(キューブ)は、コンパクトで低価格なUV-LED露光装置です。ウォーミングアップを必要とせずに10000時間の長寿命LEDによってΦ4インチまでの基板に全面露光できます。オプティクス、バイオテクノロジー、マイクロマシン、1-2枚マスクレベルのフォトリソグラフィー、ウエハーボンディングなど幅広い分野の研究開発に利用されています。

写真

仕様

露光波長365±5nm/405±5nm
照度40mW/cm² ±10%
熱影響温度1°C以下
連続照射時間18時間
サイクル記録回数10
サイズ260 x 260 x 260mm
重さ8.2 kg
試料厚み(前面照射時)ウエハ+レジストの最大厚み 11mmまで
試料厚み(マスク照射時)ウエハ+レジストの最大厚み 2mmまで
発散角2°以下
マスクサイズ(マスクホルダー使用時)125~127.3mm
試料サイズ100 x 100 mmまで

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