低価格 パルスレーザー
SX シリーズ

最大パルスエネルギー
FsIR:100uJ,PsIR:400uJ,NsIR:3mJ
最大繰り返し周波数
FsIR:50MHz,PsIR:50MHz,NsIR:200KHz

問い合わせカタログ

特長

  • コンパクト
  • 高パルスエネルギー、高繰り返し
  • バーストモード(フェムト秒/ピコ秒レーザー)
  • フリートリガー(フェムト秒/ピコ秒レーザー)

用途

  • 各種微細加工
  • 薄膜除去/パターニング
  • ガラス切断/穴あけ
  • 半導体、ディスプレイ切断
  • FPC,PCB切断/穴あけ
  • 表面処理(ナノ周期構造、摩擦低減)

 

フリートリガー機能。
エッジウェーブ社製フェムト/ピコ秒レーザー。
曲線部でもドット間隔は直線部と同じ。

※仕様はカスタムでご提案いたします。
ご希望の出力、繰返周波数、パルスエネルギーなどをお知らせください。

フェムト秒SXfシリーズ

仕様
波長1030nm (IR)515nm (Green)343nm (UV)
最大平均出力90W50W28W
最大繰り返し周波数50MHz50MHz50MHz
最大パルスエネルギー [µJ]100µJ50µJ28µJ
最小パルス幅 [fs]600fs400fs400fs
ビーム品質 M21.11.11.2
エネルギ安定性 [%] rms233
タイミングの安定性 [ns]202020
偏光方> 100:1> 100:1> 100:1
ビーム楕円率 [%] <10<10<10
窓の直径 [mm]3mm3mm3mm
発散角 [μrad]500µrad250µrad226µrad
ポインティング・スタビリティ [μrad]<100<100<100
ウォームアップ (低温 始動時)「分」<15<20<30
ウォームアップ (待機)「分」
<8<15<30
電源供給90-264v, 5/60Hz, 1.5kW
180-264V, 50/60Hz, 1.5kW
90-264v, 5/60Hz, 1.5kW
180-264V, 50/60Hz, 1.5kW
90-264v, 5/60Hz, 1.5kW
180-264V, 50/60Hz, 1.5kW
チラー230, 208, 115, 100V, 50/60Hz, 1.5kW230, 208, 115, 100V, 50/60Hz, 1.5kW230, 208, 115, 100V, 50/60Hz, 1.5kW
動作温度域15°c~35°c15°c~35°c15°c~35°c
相対湿度 10%~80%10%~80%10%~80%
レーザーヘッド寸法(mm)650mm×228mmx160mm650mm×228mmx160mm650mm×228mmx160mm
レーザーヘッド重量 [kg]404040

ピコ秒SXpシリーズ

仕様
波長1064nm (IR)515nm (Green)343nm (UV)
最大平均出力80W40W28W
最大繰り返し周波数50MHz50MHz50MHz
最大パルスエネルギー [µJ]400µJ25µJ150µJ
最小パルス幅 [ps]12ps12ps12ps
ビーム品質 M21.11.11.2
エネルギ安定性 [%] rms233
タイミングの安定性 [ns]202020
偏光方> 100:1> 100:1> 100:1
ビーム楕円率 [%] <10<10<10
窓の直径 [mm]3mm3mm3mm
発散角 [μrad]500µrad250µrad226µrad
ポインティング・スタビリティ [μrad]<100<100<100
ウォームアップ (低温 始動時)「分」<15<20<30
ウォームアップ (待機)「分」
<8<15<30
電源供給90-264v, 5/60Hz, 1kW
180-264V, 50/60Hz, 1kW
90-264v, 5/60Hz, 1kW
180-264V, 50/60Hz, 1kW
90-264v, 5/60Hz, 1kW
180-264V, 50/60Hz, 1kW
チラー230, 208, 115, 100V, 50/60Hz, 1kW230, 208, 115, 100V, 50/60Hz, 1kW230, 208, 115, 100V, 50/60Hz, 1kW
動作温度域15°c~35°c15°c~35°c15°c~35°c
相対湿度 10%~80%10%~80%10%~80%
レーザーヘッド寸法(mm)650mm×228mmx160mm650mm×228mmx160mm650mm×228mmx160mm
レーザーヘッド重量 [kg]404040

ナノ秒SXnシリーズ

仕様
波長1064nm (IR)515nm (Green)343nm (UV)
最大平均出力80W40W25W
最大繰り返し周波数200kHz200kHz50kHz
最大パルスエネルギー [mJ]3mJ1.8mJ1mJ
最小パルス幅 [ns]1.8ns1.5ns1.5ns
ビーム品質 M21.11.11.2
エネルギ安定性 [%] rms244
タイミングの安定性 [ns]111
偏光方> 100:1> 100:1> 100:1
ビーム楕円率 [%] <10<10<10
窓の直径 [mm]3mm3mm3mm
発散角 [μrad]500µrad250µrad226µrad
ポインティング・スタビリティ [μrad]<100<100<100
ウォームアップ (低温 始動時)「分」<15<20<30
ウォームアップ (待機)「分」
<8<15<30
電源供給90-264v, 5/60Hz, 1kW
180-264V, 50/60Hz, 1kW
90-264v, 5/60Hz, 1kW
180-264V, 50/60Hz, 1kW
90-264v, 5/60Hz, 1kW
180-264V, 50/60Hz, 1kW
チラー230, 208, 115, 100V, 50/60Hz, 1kW230, 208, 115, 100V, 50/60Hz, 1kW230, 208, 115, 100V, 50/60Hz, 1kW
動作温度域15°c~35°c15°c~35°c15°c~35°c
相対湿度 10%~80%10%~80%10%~80%
レーザーヘッド寸法(mm)650mm×228mmx160mm650mm×228mmx160mm650mm×228mmx160mm
レーザーヘッド重量 [kg]404040

SXn、SXp、SXfシリーズ筐体図面

sx diagram
サプライヤー