Promaster

卓上型レーザー微細加工装置

商品コード: Promaster 商品カテゴリー:

説明

ProMasterは、R&D分野での使用を目的とした低スループットで手頃な価格のエントリーモデルの卓上型エキシマレーザー加工装置です。

ProMasterは、深紫外波長(193nm、248nm、308nm)で短いパルス幅(〜6ns)の高いピークパワーを備えたコンパクトなエキシマレーザーを搭載しています。レーザーエネルギーを効率的に加工対象を伝える事により、精密切断が可能になり、熱影響、デブリを最小限に抑えながら、ミクロンスケールまで正確に微細加工できます。

ProMasterは、フォトリソグラフィーで使用される技術であるマスクプロジェクションを使用して、ポリマー、ガラス、生体吸収性材料、およびその他の材料の細かい加工やパターンをアブレーションします。

ソフトウェア

制御ソフトはオプテック社独自のレーザー加工制御ソフトProcessPowerを使用しております。

CADファイル変換機能、CADデータに基づいて加工

特長

  • X,Y,Z 軸モーター駆動
  • XY 駆動範囲 100x100mm
  • 分解能 1μm
  • 固定倍率10倍
  • モチーフモーター選択
  • 最大エネルギー密度 5J/cm2
  • レンズ (TTL) vision
  • 簡単ソフトウエア
  • CAD対応
  • 卓上型 エキシマレーザー @248nm

用途

  • 様々なポリマー、ガラス、セラミックの切削
  • 微細 穴開け / 溝掘り
  • マイクロ流体
  • 薄膜除去

オプション

  • 193nmエキシマレーザー
  • ワイドビジョン
  • マニュアルシータステージ
  • モーター駆動 Z 軸
  • モーター駆動アッテネーター

構成

  • 波長: 193nm もしくは 248nm
  • エネルギー密度: 0.05〜5J/cm2
  • 繰り返し周波数: 200Hz
  • 加工サイズ: 5µ〜250µm
  • 分解能: <1.5µm
  • 焦点範囲: 20mm
  • DMG比率: 10X
  • アッテネーション範囲: 2〜100%

位置決め

  • 駆動範囲: 100x100mm
  • 位置決め精度: 1µm
  • 繰り返し精度: 2µm
  • 絶対精度: <2µm (DMC校正)

観察機構

  • 2色カメラ (オプションで高FOV )
  • TTL ビジョン
  • 同軸ライト