TSST社製PLD

パルスレーザーアブレーション製膜装置

レーザー光を数回ターゲットに照射、 物質をアブレーションさせて対向位置に配置された基板に 材料を堆積させ薄膜を生成する超高真空PLDシステム装置。

問い合わせカタログ(英語)

特長

装置概要および仕様

LightMachinery社製

搭載エキシマレーザー

バキュームチャンバー

ヒーターステージ

heater stage

ターゲットステージ

高圧力RHEED

rheed

ロードロック

制御系

光学系

サプライヤー