MLI シリーズ

ロングガスライフ 小型エキシマレーザー

産業用途に対応したの高い信頼性(MLI-LCシリーズ)。圧倒的に長くなったガス寿命。操作性に優れたオペレーティングソフトウエア。

商品コード: mliexcimerlaser 商品カテゴリー: , 商品タグ:

説明

小型エキシマレーザーMLIシリーズは、研究開発から試作/小中規模生産ライン用に設計された新世代のコンパクトな高繰り返し空冷エキシマレーザーです。圧倒的に長くなったガス寿命によりガス交換の頻度が大幅に減少しました。高い信頼性の固体スイッチ回路と共に安定した運転を可能とします。また大型のエキシマレーザーよりも短い5~10nsのパルス幅で高品質なアブレーション加工を行うことができます。

特長

  • オールメタルチューブによる長ガス寿命
  • コロナ予備放電による安定性の向上
  • 固体スイッチ電源によりウォーミングアップ不要
  • 高品質ビームプロファイル
  • ポンプ/フィルターを内蔵した省スペース構造

主な用途

  • 微細加工:微小穴加工、薄膜除去加工等
  • ファイバーグレーティング
  • 質量分析:LA-ICP-MS、TOF-MS、APLI
  • マーキング:コンタクトレンズ、メガネレンズ
  • 半導体検査装置光源

モデル 200/500/1000 エキシマレーザー

発振ガスArF
ArFArFKrF
KrF
KrF
発振波長(nm)193193193248248248
最大繰返し数(Hz)20050010002005001000
最大パルスエネルギー(mJ)666101010
最大平均出力(W)1.23.06.02.05.010
エネルギー安定性(%)222222
ビームサイズ(mm)6×36×36×36×36×36×3
ビーム拡がり角(mrad)2×12×12×12×12×12×1
パルス幅(ns)5-105-105-105-155-155-15
本体サイズ/重量/冷却方法560 x 355 x 445mm/80kg/水冷

生産用モデル(水冷) 500LC/1000LC エキシマレーザー

発振ガスArFArF
ArF
KrF
発振波長(nm)193193248248
最大繰返し数(Hz)50010005001000
最大パルスエネルギー(mJ)661010
最大平均出力(W)3.06.05.010
エネルギー安定性(%)2222
ビームサイズ(mm)6×36×36×36×3
ビーム拡がり角(mrad)2×12×12×12×1
パルス幅(ns)5-105-105-155-15
本体サイズ/重量/冷却方法560 x 355 x 445mm/80kg/水冷

ハイパワーモデル(水冷) HP-200LC/500LC/1000LC

生産用モデルにハイパワータイプ(KrF:波長248nm)が新たにラインナップ
MLIシリーズの特長そのままに、20mJ (200Hz)を得ることが可能
発振ガスKrFKrFKrF
発振波長(nm)248248248
最大繰返し数(Hz)2005001000
最大パルスエネルギー(mJ)201816
最大平均出力(W)4916
エネルギー安定性(%)223
ビームサイズ(mm)6x36x36x3
ビーム拡がり角(mrad)2x12x12x1
パルス幅(ns)5-155-155-15
本体サイズ/重量/冷却方法560 x 355 x 445mm/80kg/水冷