MicroMasterは、エキシマレーザー専用の微細加工装置です。

エキシマレーザーの紫外パルス光の特性を利用したマスク投影加工で、樹脂を中心とした材料や基板上の導電膜に深さをコントロールした非熱加工を高品質に行う事ができます。

小型のエキシマレーザーを内蔵してコンパクトな装置として限られた面積に設置できるほか、大型のエキシマレーザーを外置きにして同時多穴生産加工にも対応します。

好評のリアルタイムモニターを2画面で確認しながら加工状態の確認や調整を行う事ができます。

カテーテル、ポリマーステントの医療材加工、微細なレンズ/金型/流路/光導波路の製作、微小穴フィルター/ノズルの製作などの用途に使用されています。

用途

  • レーザーリフトオフ(LLO)
  • アニーリング
  • クリーニング
  • ウエハデボンディング
  • 有機EL薄膜除去

特長

  • 高品質・非加熱加工
  • 高い柔軟性 簡単セッティング
  • ラインビーム 45mm×1.2mm
  • ビーム均一性±5μm
  • 高倍率/低倍率同軸モニター機構
  • 本体装置寸法(レーザー別) W1010×D1570×H1500mm

レーザー発振器:ライトマシナリー社製エキシマレーザー

Ipexシリーズのレーザーは、

最高エネルギーモデルでも

優れたビームプロファイルを提供します。

  • ラインビーム光学系(短軸、長軸)
    光学系によりビーム均一性を実現
  • ワークスペース300mm×300mm
    8インチウエハ(リングフレ-ム付き9インチウエハにも対応)
    オプション:オートローダー(自動供給システム)
  • 中型エキシマレーザー
    IPEX-700 シリーズ

    最大平均出力40W
    最大パルスエネルギー700mJ
    最大繰り返し周波数100Hz

    経済的なIPEX700シリーズはトータルコストを最小限に抑え、長時間の運転を可能としています。応用範囲はセラミックスのマーキングから、微細加工まで多岐にわたっています。PLD(パルスレーザーデポジション)、リフト・オフ・プロセス、表面改質、アニーリング、等。高品質のビーム、安定したエネルギー、優れたポインティングスタビリティ。高い安定光学マウントを採用、PLD用途にも最適。メンテナンスは片側アクセス、発振ガスを充填したまま、共振器のクリーニングが可能

  • 大型エキシマレーザー
    IPEX-800 シリーズ

    最大平均出力80W
    最大パルスエネルギー700mJ
    最大繰り返し周波数200Hz

    製造に要求される厳しい環境にも対応できるように設計されたIPEXシリーズは、高繰り返し、長時間ガスライフによる低ランニングコストが特長の、高品質な加工を行うことのできる高出力エキシマレーザーです。

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