Lightshot

小型エキシマレーザー微細加工装置

エキシマーレーザとは紫外域のArF(248nm)/ KrF(193nm)の短波長レーザーです。

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説明

ポリカーボネート、PET、PMMAなどの樹脂系材料の微細加工に最適
微細形状加工を得意とし、深さに対しても微細な制御が可能ランニングコストでは固体レーザーを使用した場合と比べてもほぼ同等(Dutycycle30%時)

小型エキシマレーザーを搭載し、コンパクトな装置として限られたスペースにも設置可能リアルタイムモニターで確認しながら加工状態の確認や調整を行うことが出来ます。

特長

  • 非熱加工溶けやダレなし
  • 最小パターン幅<5μm
  • 位置決め精度
  • パターンマスク不要
  • ドライプロセス
  • モニターズ_ーム機能
  • 非接触加工
  • 高い柔軟性パターン自在
  • 高画質高倍率同軸モニター
  • CADデータ変換

仕様

  • 標準仕様: Light Shot
  • 対象材料: PC、PMMA、ガラス材料等
  • 波長193nm or 248nm
  • 分解能: 1.5um
  • 位置決め精度: く土5um(オプション±2um)
  • 溝幅 1:1(対溝幅)
  • 基板サイズ: 100mm x100mm
  • 加エパターン: 直線、曲線、複雑パターン
  • 同軸観察モニター: 高 / 低倍率2画面
  • 設置面積: 幅600 x 高さ1400 x 奥行1300mm
  • * 1オペレーターは含んでおりません。

ソフトウェア

制御ソフトはオプテック社独自のレーザー加工制御ソフトProcessPowerを使用しております。

CADファイル変換機能、CADデータに基づいて加工