Lightbench

Flexible, Smart Excimer System

商品コード: Lightbench 商品カテゴリー:

説明

OptecのLightBenchは、費用対効果の高いレーザービーム供給ユニットであり、高品質の微細加工を実現するための簡単な方法です。 LightBenchは、レーザー光線を光源からワークにある対象に向けて調整し、ミクロン(µm)レベルの精度を実現します。
主要なビーム供給デバイスをサポートする理想的なプラットフォームであるエネルギーコントローラー、ビームシェーパー、レンズ、マスクユニット、ビジョンシステムなどが、アプリケーションに合わせて構成されています。

ソフトウェア

制御ソフトはオプテック社独自のレーザー加工制御ソフトProcessPowerを使用しております。

CADファイル変換機能、CADデータに基づいて加工

特長

  • モーター駆動 X,Y,Z 軸
  • XY 駆動範囲 200x200mm
  • 分解能 1µm
  • 調整可能な縮小倍率 X5〜X15
  • モチーフモーター選択
  • 最大エネルギー密度 10J/cm2
  • 小型エキシマレーザー (248nm もしくは 193nm)
  • TTL Vision (WYSIWYG)
  • ソフトウエアProcessPower
  • OptecCAD対応

用途

  • レーザーリフトオフ(LLO)
  • 選択薄膜除去
  • 様々なポリマー、ガラス、セラミックの切削、穴あけ
  • 微細 穴開け / 溝掘り
  • マイクロ流体
  • 3D 構造加工
  • 医療部品穴あけ
  • 電子機器/センサーのトリミング

仕様

構成

  • レーザー波長: 193nm もしくは 248nm
  • エネルギー密度: 0.05〜10J/cm2
  • 繰り返し周波数: 200Hz (500Hz & 1kHz も可)
  • 加工サイズ: 5µm〜2mm
  • 分解能: 1.5µm
    (UVFS/CAF2 光学系 NA 0,1)
  • 焦点範囲: 50mm (モーター制御)
  • DMG 比率: 5 〜 15 (マニュアル)
  • アッテネーション範囲: 5 〜 95%

位置決め

  • 駆動範囲: 200x200mm
  • 位置決め精度: 1µm
  • 繰り返し精度: 2µm
  • 絶対精度: <2µm with DMC校正

観察機構

  • カラーカメラ
  • TTL ビジョン (150-500X DMG)

オプション

  • MRA モジュール
  • スムースグルーブモジュール
  • シータステージ
  • 自動アライメント
  • ホモジェナイザーモジュール