LBD

レーザーリフトオフ(LLO)装置

商品コード: Laser-Blade-Debonder 商品カテゴリー:

説明

LDBは、高速レーザーリフトオフ(LLO)用に最適化された装置です。 この装置は、柔軟なワークステーションとホモジェナイザーと連動したレーザーを組み合わせて、高スループットの生産用ラインビームを作成します。

ビームの長さは調整可能で、用途に応じて自動的に切り替えられます。 オートメーション化は、オートプリアライメント、ロボティクス、マシンビジョンを含むカセットまたはウェハローディングのオプションとして提供できます。

特長

  • モーター X,Y,Z 軸
  • レーザー波長 308nm (オプション 248nm)
  • ラインビーム長 <45mm
  • 最大エネルギー密度 600mJ/cm2
  • Off Axis Vision
  • 使いやすいソフトウエア
  • CAD対応
  • グラナイト構造
  • クラス 1 レーザー加工装置 (インターロック完備)

構成

  • 波長: 248nm もしくは 308nm
  • エネルギー密度: 50〜600mJ/cm2
  • 繰り返し周波数: 最大200Hz
  • ラインビーム長: 22 もしくは 45mm、75mm(オプション)
  • ラインビーム: 1 もしくは 1.2mm
  • 焦点深度: >0.5mm
  • 焦点範囲: 25mm
  • アッテネーション範囲: 5-100%

オプション

  • ラインビーム長調整
  • 75mm ラインビーム
  • 完全オートメーションローディング/アンローディング
  • モーターシータステージ
  • 加工面でのビームプロファイラー
  • 加工面でのパワーメーター

位置決め

  • ワークエリア: 200x200mm
  • 駆動範囲: 450x300mm
  • 位置決め精度: 1µm
  • 繰り返し精度: <2µm
  • 絶対精度: <2µm (DMC校正)
lbd dimensions