LBD

レーザーリフトオフ(LLO)装置

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LDBは、高速レーザーリフトオフ(LLO)用に最適化された装置です。 この装置は、柔軟なワークステーションとホモジェナイザーと連動したレーザーを組み合わせて、高スループットの生産用ラインビームを作成します。

ビームの長さは調整可能で、用途に応じて自動的に切り替えられます。 オートメーション化は、オートプリアライメント、ロボティクス、マシンビジョンを含むカセットまたはウェハローディングのオプションとして提供できます。

特長

構成

オプション

位置決め

lbd dimensions