IPEX-800 シリーズ

高繰返しエキシマレーザー。長ガス寿命/低ランニングコスト。

製造に要求される厳しい環境にも対応できるように設計されたIPEXシリーズは、高品質な加工を行うことのできる高出力エキシマレーザーです。

商品コード: ipex800series 商品カテゴリー: 商品タグ:

説明

ルモニクスから引き継がれたICON (Integrated Ceramic on Nickel)テクノロジーにより、 IPEXシリーズは優れたガス寿命と高い光学安定性をもち、ハンディリモートコントローラーでレーザーオペレーション時のパラメーターを簡単に設定することができます。オペレーションが易しくメンテナンスがシンプルで経済的なIPEX-800シリーズは、トータルコストを最小限に抑えて、長期間の運転を可能としています。セラミックスのマーキングから微細加工まで、このレーザーの応用範囲は多岐にわたっています。

IPEX800シリーズでは不安定共振器を使用してビーム拡がり角を小さく押さえることにより、優れた集光スポット品質を得ることも出来ます。

exciPureTM(エキシピュア)テクノロジーとは

3つのアプローチによってガス寿命を著しく向上させ、ランニングコストを低減させました。

excipure について

KrFおよびArFの動的および静的ガス寿命を5倍以上に

exciPureTMによるガス寿命の向上

動的寿命は最大平均出力で安定化モードを維持できるショット数です。

静的寿命はガスを注入して、最初の出力が初期値の80%を達成できた日数です。

以上のショット数はライトマシナリー社の典型的な操作条件によるものです

exciPureTM(エキシピュア)改善内容

1.ベッセル材料改善(IPEX800シリーズに採用済み) ・エキシマレーザーのガス寿命を向上させるため、ベッセル材料を改善。 ・ベッセル材料からのガスへの不純物の発生を低減。

2.ガスプロセッサ—搭載 ・内蔵された触媒カートリッジによってガス内に発生する不純物を除去。 ・液体窒素不要。

3.ハロゲンインジェクション ・微量インジェクションにより、インジェクション時の出力不安定を回避。 ・ハロゲンインジェクションによりガス寿命の延命化。

まとめ

・動的ガス寿命および静的ガス寿命が飛躍的に向上 IPEX840シリーズ(KrF) 動的寿命20Mショット→200Mショット 10倍

静的寿命10日→30日 3倍 ・ガスプロセッサーは触媒カートリッジ方式であるため、液体窒素不要。

・微量インジェクションにより出力安定。

Ipexシリーズ チューブ構造 特長

  • ICONTMテクノロジー、オールメタル&セラミック採用
  • チューブ構造:円形の対象同軸構造 温度変化による歪み(共振器の位置ずれ)なし フィードスルーが1ヶ所→高電圧リークの危険性が低い 発振ガスの循環がスムーズ、パルス安定性に優れている
  • 外部冷却:内部の水熱交換器からの腐食および漏れの可能性なし
unique laser tube

共振器保守について

IPEXシリーズでは、共振器メンテナンスが簡単!

EasyClean方式採用

光学ポートにゲートバルブが装備されており、バルブが閉まった状態で 共振器 のメンテナンスを行います。

  1. ガス充填はそのまま 共振器のメンテナンスの度にガス交換やパージの必要がなく、経済的
  2. ガス交換やパージの必要がないので、共振器のクリーニングや 交換は15分ほどで完了。
  3. 出力低下の原因となる空気や水分(水蒸気)がチューブ内に入らない
  4. ガス漏れの心配もなし

ライトマシナリー社独自の光学マウント(特許取得済み)

1.クリーニングや交換時に外しても、同じ位置に戻せます 2.クリーニングはホルダーつきのままで完了

共振器をホルダーから外さずにクリーニングできます。

再アラインメントの必要無し

ガスピューリファイヤー

静電濾過システム、exciPureにより、ガス不純物の高速除去 ガス寿命や光学部品のメンテ期間を延長

再アラインメントの必要無し

光学部品のクリーニング (例)200Hzで稼働させた場合

KrFなら100Mショットごと

XeClなら50Mショットごと

Beam Profile @ 800 M Pulses

Change from its original size <5% at 800 x 106 pulses. The output beam remains symmetrical

Divergence 0.72 x 3.2 mrad Pointing Stability < 160 rad エネルギーの分布が急峻、テール部分のエネルギーが少ない“

光学部品フロープロテクション

• ガスピューリファイヤーを採用しても、微量の飛散物は放電や電極か ら発生してしまいます。

• フローガイドが光学系付近のガスの流れをコントロールし、 飛散物付着を防ぎます。

エネルギーコントロール

独自の技術、 StabiLaseTM により、エネルギーの安定性をモニター

•StabiLaseが動後数秒以内に設定値にエネ ルギーをロックします。

•バーストモード、断続的な使用、また外部トリ ガモードでも動作します。

•ハロゲンガスを自動ブーストにより、常に最 適レベルでガス混合比を維持し、エネルギー の安定を図ります。

ミニコントローラー

  • エネルギー、電力、トリガー機能を制御、表示 する
  • エネルギー安定化(バーストモードでも)
  • ゲートバルブ開閉操作(メンテナンス時)
  •  ガスおよびハロゲンブーストの自動補充

特長​

  • 新技術exciPure搭載でより長ガス寿命
  • 24/7の長時間運転にも対応
  • 最小限のトータルコスト
  • 直観的なオペレーション
  • シンプルなメンテナンス

応用

  • 樹脂材料への微細加工
  • LLO、アニーリング、表面改質、薄膜除去 
  • マーキング用途など

仕様

波長193nm (ArF)248nm (KrF)308nm (XeCl)351nm (XeF)
最大パルスエネルギー (mJ) IPEX-840230450300275
最大パルスエネルギー (mJ) IPEX-860250700600350
安定化パルスエネルギー(mJ) IPEX-840150400250225
安定化パルスエネルギー(mJ) IPEX-860200600500300
安定化最大出力 (W)
 IPEX-84830805045
 IPEX-84615402522
 IPEX-8447.5201211
 IPEX-8423.71065.5
 IPEX-86820605030
 IPEX-86610302515
 IPEX-864618109
 IPEX-8623954.5
最大繰返周波数 (pps)
 IPEX-848200200200200
 IPEX-846100100100100
 IPEX-84450505050
 IPEX-84225252525
 IPEX-868100100100100
 IPEX-86650505050
 IPEX-86430302030
 IPEX-86215151015
  • 840 シリーズ
    • ビームサイズ (mm) 840 :  12 x 26
    • ビーム拡がり角 (mrad) :   1 x 3
  • 860 シリーズ
    • (V x H, nominal) : 12 x 28
    • (V x H, nominal) : 1.5 x 4
  • 全シリーズ
    • パルス幅 (ns) :  12~20
    • パルス安定性(%):  1(1σ、KrF)
    • 本体寸法(mm):   L 1746 x W 864 x H 508
    • 本体重量(kg):  400