Dilase シリーズ

レーザー直描露光装置

高アスペクト直描露光レーザー直描露光装置. マスクレス、グレースケール露光、最小スポット径0.5μm. 高アスペクト比最大 1:50、長焦点深度による3次元構造物.

問い合わせ

特長

Dilaseシリーズ ラインナップ

Dilase 250

コンパクトな卓上型モデル

Dilase250は、Dilaseシリーズのエントリーモデルとして開発されたコンパクトな卓上型レーザー直描露光装置です。375nmまたは405nmのUVレーザーを搭載し、4インチまでの基板サイズに対応します。2μmの最小スポット径と50mm/sのスキャン速度で微細なパターン露光を行う事ができます。

Dilase 650

高機能ミドルモデル

Dilase650は、Dilaseシリーズのミドルモデルとして開発されたコンパクトなレーザー直描露光装置です。375nmまたは405nmのUVレーザーを搭載し、6インチまでの基板サイズに対応します。最小ビームスポット径1μmとスキャン速度500mm/sで、微細なパターン露光をより短時間で行う事ができます。

Dilase 750

カスタマイズ可能レーザー直描露光装置

Dilase750は、Dilaseシリーズの最高峰モデルとして開発された高性能なレーザー直描露光装置です。325nm,375nmまたは405nmのUVレーザーを搭載し、最大12インチまでの基板サイズに対応します。0.5μmの最小スポット径と500mm/sのスキャン速度で高度なマイクロデバイスの開発・作成を応援します。

アプリケーション

主なDilaseシリーズ用途分野: マイクロ流体工学、バイオテクノロジー、マイクロオプティクス、フォトニクスマイクロエレクトロニクス、宇宙工学