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  • PLD

    TSST社製PLD

    パルスレーザーアブレーション製膜装置

    レーザー光を数回ターゲットに照射、 物質をアブレーションさせて対向位置に配置された基板に 材料を堆積させ薄膜を生成する超高真空PLDシステム装置。

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