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エキシマレーザー微細加工装置を   もっと手軽に導入するために

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エキシマレーザーの稼働率が低下していないでしょうか?
工場、研究所、学内に使われていないエキシマレーザはございませんか?
エキシマレーザーは微細加工を行うための紫外パルス光源として、非常に有効なレーザーです。
縮小投影加工光学系(右写真)を利用して、ガラス・薄い金属からプラスチックまで熱影響をほとんど受けずに数μ単位の加工も可能です。照射するパルス数でサブミクロン単位の深さコントロールができるため、薄膜除去・パターニング、マイクロ流路の溝加工から材料の種類によっては切り出し加工まで対応できます。


LB縮小光学系
● お持ちのエキシマレーザーを再利用して大幅なコスト削減を!
新規にエキシマレーザー加工装置を導入しようとすると、レーザー単体のコストはかなりの部分を占めることになります。エキシマレーザーを再利用することで大幅なコストダウンが期待できるのです。弊社のエキシマレーザー用加工装置には、多彩なオプションでご希望の加工に対応できる「LBシリーズ」、縮小倍率をPCからリモートコントロールで変更できる「MicroMaster」を揃えております。エキシマレーザーを既に所有されているのであれば、弊社ラインアップ装置の光源として再利用し、微細加工装置として再びレーザー活用されては如何でしょうか? (右写真はXYステージ搭載のLBシステム。後方からエキシマレーザー光が導入できます。)

 →エキシマレーザー加工装置のページ

LB加工システム
● 簡単操作の多機能ソフトウエア MotionControl
従来の加工装置は操作が複雑であったり、加工前の設定に多くの時間を費やしたりすることがあります。弊社ラインナップのエキシマレーザー用加工装置は、その負担を大幅に軽減し、感覚的に操作できるソフトウエア「Motion Controller」を搭載しています。
以下はその機能の一例です。


Motion Controller 画面
Motion Controller 画面
■ リアルタイムモニター
ソフトウエアの画面上でレーザー照射部を観察できます。また、レンズの高さ調整をしてモニターのピントを合わせると、その面がレーザー加工の焦点面なので、厚さの異なるサンプルにも簡単に対応できます。
■ 寸法測定機能
モニター画面上の測定したい2点をクリックするとその距離(X,Y,D)が表示されます。
■ クリック位置決め機能
画面上の希望場所をクリックすると、その場所に移動できます。XY軸を交互に操作する手間がありません。
■ XYステージコントロール
X,Y軸を単純移動、距離移動、絶対移動の3つのモードで動かすことが出来ます。
■ マスクモチーフ交換機能
ビーム形状を決めるマスクモチーフを選択、変更できます。

■ 照射エネルギーコントロール機能
光学系内の透過率をコントロールして変更して照射エネルギーの強度を制御できます。(例50%透過)
■ レーザーコントロール
光源となるレーザーの発振周波数とショット数を設定できます。
■ 試料位置の調節補助機能
スライドガラスを置いた時、X軸またはY軸に平行に合わせる補助機能があります。
■ トレパニング加工
画面上の照射中央マーク(赤い十字マーク)を中心として、半径、オーバーラップ、回転数を入力し、簡単にくり貫き加工(トレパニング加工)ができます。
■ マトリックス穴加工
規則正しい配列された穴加工であれば、行間・列間の距離とレーザーの周波数及びショット数を入力すると、加工プログラムを作成することなくすぐに多穴加工を行うことが出来ます。

■ 座標穴加工
ノートパッドなどのテキストエディタで作成されたXY座標から、穴加工を行うことが出来ます

■ トレース(描画)加工
CADで作成されたDXFファイルから、描画加工(トレース加工)を行うことが出来ます。


● エキシマレーザーの稼働率が低下していないでしょうか?
弊社内のラボには、エキシマレーザ加工装置のデモ機があります。
実機操作でソフトウエアの使いやすさを確かめることが出来ます。
ご希望の際は、営業部までご連絡下さい

弊社営業部へのお問合せは、ページ上の 「お問合せ」 から内容を記述して送信していただくか、下記までご連絡下さい。


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