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 レーザー加工装置 lasersystem
卓上微細加工装置
●エキシマレーザー微細加工装置

【発振器波長】
 ・193nm, 248nm, 308nm, 351nm

【特長】
 ・UVパルスによる非熱加工
 ・サブミクロン単位の深さ制御
 ・マスクモチーフによりビーム形状が決定
 ・ミクロン単位の微細加工

【応用】
 ・有機材料、医療用材料の加工
 ・金属薄膜除去、パターニング
 ・UVパルスによる表面クリーニング
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●ピコ/フェムト秒加工装置

【発振器波長】
 ・ピコ秒   :1064nm(532nm,355nm)
 ・フェムト秒 :775nm

【特長】
 ・超短パルスによる非熱加工
 ・透明材料の内部改質

【応用】
 ・光学結晶、部品微細加工
 ・薄膜太陽電池パターニング
 ・化合物半導体膜、超伝導薄膜除去
 ・マイクロマシン、MEMS加工

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ピコ秒レーザー加工装置
エキシマレーザー加工装置
CVL微小穴加工装置
●レーザー微小穴加工装置

【発振器波長】
 ・511nm, 578nm (銅蒸気レーザー)
 ・1064nm, 532nm, 355nm, 266nm


【特長】
 ・φ20μm以下の微小穴加工
 ・20μm以下の高密度穴間隔
 ・高アスペクト穴 >20:1
 ・穴テーパー制御(ストレート、逆テーパー)


【応用】
 ・インジェクションノズル(ガソリン、ディーゼル)
 ・繊維ノズル
 ・プローブカード
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●ディスクレーザー微細加工装置

【発振器波長】
 ・1030nm

【特長】
 ・ディスクレーザー搭載
 ・最小切断幅 8μm(SUS t=100μm)
 ・位置決め精度±1μm, 分解能50nm

【応用】
 ・医療部品:ステント、注射針、内視鏡部品

 ・機械部品:微小歯車、精密バネ、エンコーダー
 ・各種ノズル


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DPSSL微小穴加工装置
SIENNA200シリーズ
●レーザーワイヤーストリッパー

【発振器波長】
 ・10.6μm

【特長】
 ・芯線損傷無し
 ・極細線対応
 ・ケーブル反転不要

【応用】
 ・航空機、精密機器用極細線
 ・テフロンなど他難加工被覆対応
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●ステントカッター

【発振器波長】
 ・1030nm

【特長】
 ・切断幅15μm以下
 ・熱影響軽減
 ・オールグラナイト構造、高加工精度

【応用】
 ・医療用金属ステント


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オールグラナイトのステントカッター
SIENNA500シリーズ
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 レーザー発振器 lasersource

●エキシマレーザー
    --ゲートバルブ搭載--
【波長】
 ・193nm, 248nm, 308nm

【出力/エネルギー】
・3-80W, max650mJ/pulse

【応用】
 ・微細加工, ファイバーグレーティング
 ・PLD, アニーリング光源



●小型エキシマレーザー
   --短パルストップフラットビーム--
【波長】
 ・193nm, 248nm

【出力/エネルギー】
3-9W, max18mJ/pulse

【応用】
 ・微細加工
 ・結晶材料、エラストマー材加工
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●ディスク型固体レーザー
    --優れたビームプロファイル--
【波長】
 ・1030nm, 515nm

【出力/エネルギー】
 ・CW: 20, 50, 100W (1030nm)
 ・Qスイッチ@5kHz: 4mJ/20W(1030nm)

【応用】
 ・狭幅切断加工
 ・微細加工
 ・チタンサファイヤレーザー励起



●スラブ型固体レーザー
     --短パルス,高出力,矩形ビーム可能--
【波長】
 ・1064, 1047nm、532, 523nm、355, 349nm

【出力/エネルギー】
・16-200W
・30mJ@1kHz, 7ns(1047nm)

【応用】
 ・ガラス加工、太陽電池工程
 ・Dyeレーザー、OPA,OPOの励起光源
 ・PIF、LIF
法光源
 ・プラズマ生成



●TEA-CO2レーザー
    --高信頼性パルスCO2--
【波長】
 ・10.6μm, 9.3μm

【出力/エネルギー】
 ・75W @ 0.15J, 500Hz
 ・68W @ 5.6J, 12Hz

【応用】
 ・プリント基板穴あけ、石英加工
 ・錠剤穴あけ
 ・電子部品、化粧品、ビールラベルなどの
   マーキング



●1kWエキシマレーザー
    --高出力高品質フラットビーム--
【波長】
 ・ 308nm (XeCl)

【出力/エネルギー】
・1kW (1J, 1kHz)

【応用】
 ・多穴加工
 ・アニーリング光源

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 レーザーマーキング装置 lasermarking

●レンズ用マーキング装置

【発振器波長】
・193nm


【特長】
 ・非接触マーキング
 ・ドット形状、深さの柔軟性
 ・ブラインドマーキング
 ・レンズ曲面対応


【応用】
 ・ガラス、プラスチック製
   曲面メガネレンズ用マーキング



●汎用マーキング装置

【発振器波長】
 ・10.6μm, 1064nm, 532nm


【特長】
 ・幅広いラインナップ
 ・カスタマイズに対応
 ・APCAuto Power Compensator
 ・レーザー・オン・ディレイ機能
 ・移動ライン対応マーキング


【応用】
 ・樹脂、金属、セラミックス材マーキング





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 周辺機器/特注品 syuhen


●軟X線ミラー


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