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| レーザー加工装置 lasersystem |
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●エキシマレーザー微細加工装置
【発振器波長】
・193nm, 248nm, 308nm, 351nm
【特長】
・UVパルスによる非熱加工
・サブミクロン単位の深さ制御
・マスクモチーフによりビーム形状が決定
・ミクロン単位の微細加工
【応用】
・有機材料、医療用材料の加工
・金属薄膜除去、パターニング
・UVパルスによる表面クリーニング

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●ピコ/フェムト秒加工装置
【発振器波長】
・ピコ秒 :1064nm(532nm,355nm)
・フェムト秒 :775nm
【特長】
・超短パルスによる非熱加工
・透明材料の内部改質
【応用】
・光学結晶、部品微細加工
・薄膜太陽電池パターニング
・化合物半導体膜、超伝導薄膜除去
・マイクロマシン、MEMS加工

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●レーザー微小穴加工装置
【発振器波長】
・511nm, 578nm (銅蒸気レーザー)
・1064nm, 532nm, 355nm, 266nm
【特長】
・φ20μm以下の微小穴加工
・20μm以下の高密度穴間隔
・高アスペクト穴 >20:1
・穴テーパー制御(ストレート、逆テーパー)
【応用】
・インジェクションノズル(ガソリン、ディーゼル)
・繊維ノズル
・プローブカード

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●ディスクレーザー微細加工装置
【発振器波長】
・1030nm
【特長】
・ディスクレーザー搭載
・最小切断幅 8μm(SUS t=100μm)
・位置決め精度±1μm, 分解能50nm
【応用】
・医療部品:ステント、注射針、内視鏡部品
・機械部品:微小歯車、精密バネ、エンコーダー
・各種ノズル

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●レーザーワイヤーストリッパー
【発振器波長】
・10.6μm
【特長】
・芯線損傷無し
・極細線対応
・ケーブル反転不要
【応用】
・航空機、精密機器用極細線
・テフロンなど他難加工被覆対応

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●ステントカッター
【発振器波長】
・1030nm
【特長】
・切断幅15μm以下
・熱影響軽減
・オールグラナイト構造、高加工精度
【応用】
・医療用金属ステント

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| レーザー発振器 lasersource |
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●エキシマレーザー
--ゲートバルブ搭載--
【波長】
・193nm, 248nm, 308nm
【出力/エネルギー】
・3-80W, max650mJ/pulse
【応用】
・微細加工, ファイバーグレーティング
・PLD, アニーリング光源

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●小型エキシマレーザー
--短パルストップフラットビーム--
【波長】
・193nm, 248nm
【出力/エネルギー】
3-9W, max18mJ/pulse
【応用】
・微細加工
・結晶材料、エラストマー材加工

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●ディスク型固体レーザー
--優れたビームプロファイル--
【波長】
・1030nm, 515nm
【出力/エネルギー】
・CW: 20, 50, 100W (1030nm)
・Qスイッチ@5kHz: 4mJ/20W(1030nm)
【応用】
・狭幅切断加工
・微細加工
・チタンサファイヤレーザー励起

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●スラブ型固体レーザー
--短パルス,高出力,矩形ビーム可能--
【波長】
・1064, 1047nm、532, 523nm、355, 349nm
【出力/エネルギー】
・16-200W
・30mJ@1kHz, 7ns(1047nm)
【応用】
・ガラス加工、太陽電池工程
・Dyeレーザー、OPA,OPOの励起光源
・PIF、LIF法光源
・プラズマ生成

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●TEA-CO2レーザー
--高信頼性パルスCO2--
【波長】
・10.6μm, 9.3μm
【出力/エネルギー】
・75W @ 0.15J, 500Hz
・68W @ 5.6J, 12Hz
【応用】
・プリント基板穴あけ、石英加工
・錠剤穴あけ
・電子部品、化粧品、ビールラベルなどの
マーキング

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●1kWエキシマレーザー
--高出力高品質フラットビーム--
【波長】
・ 308nm (XeCl)
【出力/エネルギー】
・1kW (1J, 1kHz)
【応用】
・多穴加工
・アニーリング光源

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| レーザーマーキング装置 lasermarking |
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●レンズ用マーキング装置
【発振器波長】
・193nm
【特長】
・非接触マーキング
・ドット形状、深さの柔軟性
・ブラインドマーキング
・レンズ曲面対応
【応用】
・ガラス、プラスチック製
曲面メガネレンズ用マーキング

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●汎用マーキング装置
【発振器波長】
・10.6μm, 1064nm, 532nm
【特長】
・幅広いラインナップ
・カスタマイズに対応
・APC(Auto
Power Compensator)
・レーザー・オン・ディレイ機能
・移動ライン対応マーキング
【応用】
・樹脂、金属、セラミックス材マーキング

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| 周辺機器/特注品 syuhen |
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●軟X線ミラー
弊社営業部まで、ご要求の仕様をご相談下さい。 営業部へのお問合せは、ページ上の「お問合せ」からメールを送っていただくか、下記までご連絡下さい。
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