ABOUT US サイトマップ レーザー微小穴加工装置
【固体レーザー搭載タイプ】
固体レーザーを光源とした微小穴あけ加工システムです。IR、グリーン、UV、DUVの各波長を光源としたモデルがあります。
【銅蒸気レーザー搭載タイプ】
銅蒸気レーザーを搭載した微小穴あけ加工システムです。銅蒸気レーザーは511nmと578nmを同時に発生する高周波数、高パルスエネルギーのレーザーでアスペクト比の高い微小な穴あけを行うことが可能です。
【加工例】
350μm 厚シリコン60μm角穴 100μm厚ステンレス5μm径穴 250μm厚CVDダイヤ230μm 径穴 1mm厚ステンレス60μm径穴
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