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ビーム株式会社はレーザー光源及びレーザー加工装置の提案/試作加工を行っています。

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エキシマレーザー微細加工装置 

小型から大型エキシマレーザーまで対応した、
リアルタイムモニター付きエキシマレーザー微細加工装置。
樹脂・エラストマー材から導電薄膜の除去/パターニングなどに対応。

エキシマレーザー微細加工装置シリーズ

MicroMasterのイメージ


高精度/多機能モデル MicroMaster

MicroMasterは、エキシマレーザー専用の微細加工装置です。エキシマレーザーの紫外パルス光の特性を利用したマスク投影加工で、樹脂を中心とした材料や基板上の導電膜に深さをコントロールした非熱加工を高品質に行う事ができます。小型のエキシマレーザーを内蔵してコンパクトな装置として限られた面積に設置できるほか、大型のエキシマレーザーを外置きにして同時多穴生産加工にも対応します。好評のリアルタイムモニターを2画面で確認しながら加工状態の確認や調整を行う事ができます。カテーテル、ポリマーステントの医療材加工、微細なレンズ/金型/流路/光導波路の製作、微小穴フィルター/ノズルの製作などの用途に使用されています。

*装置仕様の概略は下の表をご覧ください。

お見積お問い合わせ
標準仕様  MicroMaster
 レーザー発振器 小型内蔵または大型外置 
 レーザー波長 193または248nm 
 最小加工サイズ <5μm
 縮小光学系倍率 4〜20倍 
レンズ分解能 1.5μm
 マスク 32モチーフチェンジャー 
 XY移動量 300×300mm
 XY位置決め精度  <±5μm
 XY分解能 0.25μm 
 XY繰り返し精度 ±0.75μm 
 同軸観察モニター 高/低倍率2画面 
 設置面積*1 幅1750×奥行2050mm  
 重量*2 900kg 
オプション  均一光学系, スリットマスク, その他 


標準仕様は一例です。多彩なオプションで仕様のカスタマイズ可能です。ご相談ください。

*1 オペレーターは含んでおりません。小型レーザー使用時のものです。
*2 小型レーザー使用時のものです。ProMasterは専用架台込み重量です。





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