MicroMaster

高精度/多機能モデル MicroMaster

MicroMasterは、エキシマレーザー専用の微細加工装置です。エキシマレーザーの紫外パルス光の特性を利用したマスク投影加工で、樹脂を中心とした材料や基板上の導電膜に深さをコントロールした非熱加工を高品質に行う事ができます。

小型のエキシマレーザーを内蔵してコンパクトな装置として限られた面積に設置できるほか、大型のエキシマレーザーを外置きにして同時多穴生産加工にも対応します。好評のリアルタイムモニターを2画面で確認しながら加工状態の確認や調整を行う事ができます。カテーテル、ポリマーステントの医療材加工、微細なレンズ/金型/流路/光導波路の製作、微小穴フィルター/ノズルの製作などの用途に使用されています。

特長

  • 高品質・非加熱加工
  • 高い柔軟性 簡単セッティング
  • 最小加工サイズ <5µm
  • 縮小投影加工 縮小倍率4~20倍
  • 高位置決め精度<±5µm
  • 高倍率/低倍率同軸モニター機構
  • 装置寸法 W1,010 x D1,570 x H1,500mm

主な用途

  • 各種ノズル、精密フィルター
  • マイクロ流路、光導波路
  • マイクロレンズ、マイクロ金型
  • カテーテル、ポリマーステント
  • 極細ケーブル、極細ピン被膜除去
  • 有機EL薄膜除去
  • Lift-Off、Debonding

構成

レーザー発振器小型エキシマレーザー:ArF 193nm 1.5W 5mJ 300Hz、KrF 248nm 3.0W 10mJ 300Hz
大型エキシマレーザー:ArF 193nm 30W 150mJ 200Hz、KrF 248nm 80W 400mJ 200Hz
縮小投影光学系投影レンズ解像度1.5µm、縮小倍率4~20倍、マスクチェンジャー(標準32パターン)
オプション光学系ビーム強度均一化光学系、マスク同期スキャン、テーパー制御機能、縮小倍率制御など
位置決め装置(標準)XY移動量300 x 300mm、分解能0.25µm、位置決め精度<±5µm、繰返し精度±0.75µm
高倍率/低倍率同軸モニター機構(TTL:Through The Lens) 高倍率モニター240~1,200倍、低倍率モニター80倍、レーザーとモニターの焦点が一致