特長

アプリケーション各種極細線、ピン等に対応
カテーテル微細加工、薄膜除去
マイクロ流路加工、電極パターニング
その他各種微細加工
小型エキシマレーザー搭載紫外波長(193nm/248nm)を使用し、熱影響のない加工
ArF : 波長193nm、出力1.2〜6W、6mJ、200Hz〜1kHz
KrF : 波長248nm、出力2〜16W、10〜16mJ、200Hz〜1kHz
カスタム対応リールtoリール、XYステージ、回転機構など、
加工サイズ:最小<5μm
仕様加工対象:樹脂材料、金属薄膜、ガラス材など
用途に合わせてカスタマイズが可能
装置構成投影倍率(5〜10倍、固定)
レンズ解像度 1.5μm
水平駆動マスクチェンジャー
XYステージもしくは回転機構など
試料面モニター
小型エキシマレーザー発振器(193nm/248nm)