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- ・LB1500/1500
- 小型～大型エキシマレーザーまで対応、縮小投影倍率 4～18倍固定、多彩なオプションによるカスタマイズ装置
- ・MicroMaster
- 小型～大型エキシマレーザーまで対応、縮小投影倍率 4～11倍リモート可変、省スペース
- ・ProMaster
- 小型エキシマレーザー搭載、縮小投影倍率 10倍固定、卓上型
- ・LightShot V2 New
- 小型エキシマレーザー搭載、縮小投影倍率 6～14倍固定、省スペース
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エキシマレーザー微細加工装置 LB
LB1000/1500
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| 「LB1000/1500」は、エキシマレーザー専用光学系 LightBench と、グラナイトベース上に設置された位置決めテーブルを組み合わせたマルチタスク対応微細加工装置です。小型から大型エキシマレーザまで、メーカーを問わずに導入できるので、試作・研究から少量生産まで対応できます。
LightBench の多彩な光学系用オプションは、加工プロセスの変更に柔軟に対応し、多機能ソフトウエア「Motion Controller」は、リアルタイムモニターと感覚的な操作を容易にする多数の付属機能で、ストレスの少ない操作を実現しています。 |
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【特長】 |
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- 多彩な光学系オプションによるカスタマイズが可能
- 必要に応じたオプションの取り付け変更も容易
- 縮小投影倍率は4～18倍の間で設定が可能
- リアルタイムモニターによる観察系
- 多機能ソフトウエアによるストレスの少ない操作
- 専用オプションはPCからリモートコントロールが可能
- 標準 200×200mm XYステージ
- エキシマレーザーの大きさ、製造元に係らず対応可能
- 所有されているエキシマレーザーでも使用可能
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【専用設計】 |
- XYステージはオプションで、100×100mm～400×400mmから選択可能
- 小型エキシマレーザー ATLEX-300/500Si 搭載モデルは装置下部に組み込まれます。
- より専用の大型特注品のご相談にも応じます。
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コンパクトなエキシマレーザー微細加工装置 MM
MicroMaster
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| 「MicroMaster」は、専用光学系を搭載したコンパクトな加工装置です。専用光学系に設置されているミラーとレンズの位置は、内蔵されたモーターで移動できます。そのため専用PCから多機能ソフトウエア「Motion Controller for MicroMaster」で、縮小投影倍率を4倍から11倍の間でリモート変更できるほか、厚さの極端に異なる試料表面へも縮小投影倍率を維持したまま対応できます。コンパクトな装置のため、設置面積が小さな場所でも導入できます。 |
【特長】 |
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- 縮小投影倍率を4～11倍の間でリモート変更が可能
- 縮小投影倍率を維持して、ワーキングディスタンスの変更が可能
- 小さな設置面積でも導入可能
- リアルタイムモニターによる観察系
- エリア周辺観察用カメラ搭載（Off Axis）
- 多機能ソフトウエアによるストレスの少ない操作
- 専用オプションはPCからリモートコントロールが可能
- 標準200×200mm XYステージ
- エキシマレーザーの大きさ、製造元に係らず対応可能
- 所有されているエキシマレーザーでも使用可能
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【専用設計】 |
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小型エキシマレーザー搭載卓上加工装置 PM
ProMaster
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| 「ProMaster」は小型エキシマレーザー ATLEX-300/500Si の出射口に、縮小投影倍率10倍のコンパクト専用光学系を設置した卓上型の加工装置です。ビーム形状を決定する32種類のマスクモチーフをPC上から選択でき、手動のビーム減衰器でエネルギーの最適化することができます。多機能ソフトウエア「Motion Controller」により、リアルタイムで観察しながら様々な加工を最小のスペースで行うことができます。 |
【特長】 |
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- 縮小投影倍率10倍固定
- 最小の設置面積で導入可能
- リアルタイムモニターによる観察系
- 多機能ソフトウエアによるストレスの少ない操作
- 32種類のマスクモチーフからPCリモートにて設定
- 小型エキシマレーザー ATLEX-300/500Si 専用設計
- 数nsのパルス幅で大型レーザーにも劣らない加工性
- 標準100×100mm XYステージ
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| 【専用架台（オプション）】 |
- 専用PCボックス、キーボード、マウス格納／8リットルボンベ収納可能
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小型エキシマレーザー搭載コンパクト加工装置 LS
NEW LightShot V2
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| 「LightShot V2」は小型エキシマレーザー ATLEX-300/500Si を搭載したコンパクトな加工装置です。縮小投影倍率は固定ですが、6～14倍の範囲から選択できます。リアルタイム観察系に12.5倍のモーター駆動ズーム機能付きカメラと加工周辺を見渡せるもう1台のカメラが搭載されています。好評の多機能ソフトウエア「Motion Controller」を搭載して、「よりコンパクトに、より使いやすく」をテーマに新しくラインナップに加わった加工装置です。 |
【特長】 |
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- 248nm標準、193nmオプション
- 縮小投影倍率固定（6～14倍から選択可能）
- モーター駆動ズームカラーカメラ搭載（12.5倍/On Axis）
- エリア周辺を観察できるナビゲーションカメラ搭載（On Axis)
- 多機能ソフトウエアによるストレスの少ない操作
- 32種類のマスクモチーフからPCリモートにて設定
- 標準搭載の小型エキシマレーザ以外の対応も可能
- 位置決めステージと光学系はグラナイト製ブリッジ台に固定
- 標準100×100mm XYステージ
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| 【専用設計】 |
- 小型エキシマレーザー ATLEX-300/500Si 搭載モデルは装置に組み込まれます。
- その他のエキシマレーザーへの対応はご相談に応じます。
- 一部カスタマイズのご相談にも応じます。
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