MLI 200/500/1000

MLI200/500/1000

小型エキシマレーザーMLIシリーズは、研究開発から試作/小中規模生産ライン用に設計された新世代のコンパクトな高繰り返し空冷エキシマレーザーです。圧倒的に長くなったガス寿命によりガス交換の頻度が大幅に減少しました。高い信頼性の固体スイッチ回路と共に安定した運転を可能とします。また大型のエキシマレーザーよりも短い5~10nsのパルス幅で高品質なアブレーション加工を行うことができます。

MLI 500LC/1000LC

生産用モデル(水冷)

小型エキシマレーザーMLI-LCシリーズは、常時稼動する産業用に設計された新世代のコンパクトな高繰り返し水冷エキシマレーザーです。圧倒的に長くなったガス寿命によりガス交換の頻度が大幅に減少しました。高い信頼性の固体スイッチ回路と水冷方式により、産業用途での連続稼動を可能とします。また大型のエキシマレーザーよりも短い5~10nsのパルス幅で高品質なアブレーション加工を行うことができます。

MLI HP-200LC/500LC/1000LC

ハイパワーモデル(水冷)

生産用モデルにハイパワータイプ(KrF:波長248nm)が新たにラインナップMLIシリーズの特長そのままに、20mJ (200Hz)を得ることが可能