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ビーム株式会社はレーザー光源及びレーザー加工装置の提案/試作加工を行っています。

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小型エキシマレーザー

常時稼動の産業用途に対応したの高い信頼性(MLI-LCシリーズ)
圧倒的に長くなったガス寿命。
操作性に優れたオペレーティングソフトウエア。

小型エキシマレーザーのイメージ



ロングガスライフ 小型エキシマレーザー MLI200/500/1000

小型エキシマレーザーMLIシリーズは、研究開発から試作/小中規模生産ライン用に設計された新世代のコンパクトな高繰り返し空冷エキシマレーザーです。圧倒的に長くなったガス寿命によりガス交換の頻度が大幅に減少しました。高い信頼性の固体スイッチ回路と共に安定した運転を可能とします。また大型のエキシマレーザーよりも短い5〜10nsのパルス幅で高品質なアブレーション加工を行うことができます。

お見積お問い合わせ


[特長]
●コロナ予備放電
●HV固体パルスシステム
●ステンレスボディと高い信頼性
●メタルシールを採用したレーザーチューブ
●真空ポンプとハロゲンフィルターを内蔵
●RS232、USB および光ファイバーインターフェース
●窒素パージ対応のレーザー出射口

MLI200/500/1000仕様
発振ガス ArF  KrF  単位
発振波長 193 248 nm
パルスエネルギー 6 10 mJ
平均出力
 MLI 200
 MLI 500
 MLI 1000

1.2
3.0
6.0

2.0
5.0
10.0

W
最大繰返し数
 MLI 200
 MLI 500
 MLI 1000

200
500
1000

Hz
 パルス幅(FWHM) 5-10 5-15  nm
 ビームサイズ 6×3 mm
 ビーム拡がり角 2×1 mrad
エネルギー安定度 2 Sigma,%
 寸法(L×W×H) 560×315×445 mm
 重量 約75 kg
 冷却方式 空冷  
  電源 230VAC /2000Wmax / 単相 50-60Hz  


小型エキシマレーザーのイメージ



ロングガスライフ 小型エキシマレーザー MLI500LC/1000LC

小型エキシマレーザーMLI-LCシリーズは、常時稼動する産業用に設計された新世代のコンパクトな高繰り返し水冷エキシマレーザーです。圧倒的に長くなったガス寿命によりガス交換の頻度が大幅に減少しました。高い信頼性の固体スイッチ回路と水冷方式により、産業用途での連続稼動を可能とします。また大型のエキシマレーザーよりも短い5〜10nsのパルス幅で高品質なアブレーション加工を行うことができます。

お見積お問い合わせ

[特長]
●常時稼動の産業用途に対応できる水冷方式
●コロナ予備放電
●HV固体パルスシステム
●産業用にデザインされた高い信頼性
●メタルシールされたレーザーベセル
●真空ポンプとハロゲンフィルターを内蔵
●RS232、USB および光ファイバーインターフェース
●窒素パージ対応のレーザー出射口

MLI500LC/1000LC仕様
発振ガス ArF  KrF  単位
発振波長 193 248 nm
パルスエネルギー 6 10 mJ
平均出力
 MLI 500
 MLI 1000

3.0
6.0

5.0
10.0

W
最大繰返し数
 MLI 500
 MLI 1000

500
1000

Hz
 パルス幅(FWHM) 5-10 5-15  nm
 ビームサイズ 6×3 mm
 ビーム拡がり角 2×1 mrad
エネルギー安定度 2 Sigma,%
 寸法(L×W×H) 560×355×445 mm
 重量 約80 kg
 冷却方式 水冷  
  電源 230VAC /2000Wmax / 単相 50-60Hz  







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