IPEX™ 840/860 シリーズ

高繰返しエキシマレーザー

製造に要求される厳しい環境にも対応できるように設計されたIPEXシリーズは、高品質な加工を行うことのできる高出力エキシマレーザーです。

ルモニクスから引き継がれたICON (Integrated Ceramic on Nickel)テクノロジーにより、 IPEXシリーズは優れたガス寿命と高い光学安定性をもち、ハンディリモートコントローラーでレーザーオペレーション時のパラメーターを簡単に設定することができます。オペレーションが易しくメンテナンスがシンプルで経済的なIPEX-800シリーズは、トータルコストを最小限に抑えて、長期間の運転を可能としています。セラミックスのマーキングから微細加工まで、このレーザーの応用範囲は多岐にわたっています。

IPEX800シリーズでは不安定共振器を使用してビーム拡がり角を小さく押さえることにより、優れた集光スポット品質を得ることも出来ます。

IPEX™ 740/760 シリーズ

産業用エキシマレーザー

経済的なIPEX700シリーズはトータルコストを最小限に抑え、長時間の運転を可能としています。応用範囲はセラミックスのマーキングから、微細加工まで多岐にわたっています。PLD(パルスレーザーデポジション)、リフト・オフ・プロセス、表面改質、アニーリング、等。高品質のビーム、安定したエネルギー、優れたポインティングスタビリティ。高い安定光学マウントを採用、PLD用途にも最適。メンテナンスは片側アクセス、発振ガスを充填したまま、共振器のクリーニングが可能