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ビーム株式会社はレーザー光源及びレーザー加工装置の提案/試作加工を行っています。

TEL. 042-797-4141

営業時間:平日9:00〜18:00まで

エキシマレーザーLINEUP

●ルモニクスDNAを引き継ぐ高い信頼性。
●ゲートバルブの採用で共振器の交換が容易。
●産業用と理化学用の2モデル。

エキシマレーザーIPEX / PulseMaster


IPEXのイメージ産業用エキシマレーザー IPEX
840/860 シリーズ

製造に要求される厳しい環境にも対応できるように設計されたIPEXシリーズは、高品質な加工を行うことのできる高出力エキシマレーザーです。

ルモニクスから引き継がれたICON (Integrated Ceramic on Nickel)テクノロジーにより、 IPEXシリーズは優れたガス寿命と高い光学安定性をもち、ハンディリモートコントローラーでレーザーオペレーション時のパラメーターを簡単に設定することができます。オペレーションが易しくメンテナンスがシンプルで経済的なIPEX-800シリーズは、トータルコストを最小限に抑えて、長期間の運転を可能としています。セラミックスのマーキングから微細加工まで、このレーザーの応用範囲は多岐にわたっています。

IPEX800シリーズでは不安定共振器を使用してビーム拡がり角を小さく押さえることにより、優れた集光スポット品質を得ることも出来ます。

*装置仕様の概略は下の表をご覧ください。

お見積お問い合わせ


PulseMasterのイメージ理化学用エキシマレーザー PulseMaster
840/860/880 シリーズ

PulseMaster シリーズは193, 248, 308, 351nm の波長で高出力、高パルスエネルギーを得られるように設計されたエキシマレーザーです。 高品質のビーム、安定したエネルギー、優れたポインティングスタビリティは、実験、試作加工などでレーザーパラメーターを正確にコントロールするのに理想的なレーザーです。

Total Metal Ceramic(TMC) 構造は長いガス寿命と低ランニングコストを実現しました。パワフルなマイクロプロセッサにより、エネルギーを安定化させ、メインテナンスをルーチンによる自動制御で、よりたやすく行うことが出来ます。.

応用例として、DWDMアプリケーション用のファイバ・ブラッグ・グレーティング製造、フレキシブル回路のポリマー層アブレーション、・セラミックスや窒化材料の微細加工、ポリウレタンカテーテルのような医療用プラスチック材料の加工と金属薄膜のパターニングなどがあります.

PulseMaster800シリーズでは不安定共振器を使用してビーム拡がり角を小さく押さえることにより、優れた集光スポット品質を得ることも出来ます。

*装置仕様の概略は下の表をご覧ください。

 

お見積お問い合わせ
発振ガス モデル ArF KrF XeCl XeF
波長 (nm) * 193 248 308 351
安定化パルスエネルギー
(mJ)
IPEX-840
シリーズ
150 400 250 225
IPEX-860
シリーズ
200 600 350 300
安定化平均出力
(W)
IPEX-848
IPEX-846
IPEX-844
IPEX-842
30
15
6.0
3.0
80
40
20
10
50
25
12
6.0
45
22
11
5.5
IPEX-868
IPEX-866
IPEX-864
IPEX-862
20
10
5.0
2.5
60
30
18
9.0
35
18
10
5.0
30
15
9.0
4.5
最大繰り返し周波数
(pps)
IPEX-848
IPEX-846
IPEX-844
IPEX-842
200
100
50(40 on ArF)
25(20 on ArF)
IPEX-868
IPEX-866
IPEX-864
IPEX-862
100
50
30(25 on ArF)
15(12 on ArF)
パルス幅 (ns)
(FWHM, nominal)
全シリーズ 12-20 
ビームサイズ (mm) (V*H,nominal) IPEX-840
シリーズ
12x26
IPEX-860
シリーズ
12x28
ビーム拡がり角 (mrad) (V*H,nominal) IPEX-840
シリーズ
1x3
IPEX-860
シリーズ
1.5x4
産業用 IPEX-840/860シリーズ仕様


発振ガス モデル ArF KrF XeCl XeF
波長 (nm) * 193 248 308 351
最大パルスエネルギー
(mJ)
PM-840
シリーズ
230 450 300 275
PM-860
シリーズ
250 700 400 350
安定化平均出力
(W)
PM-848
PM-846
PM-844
PM-842
30
15
6
3
80
40
20
10
50
25
12
6
45
22
11
6
PM-868
PM-866
PM-864
PM-862
20
10
5
2.5
60
30
18
9
35
18
10
5
30
15
9
4.5
最大繰り返し周波数
(pps)
PM-848
PM-846
PM-844
PM-842
200
100
40
20
200
100
50
25
PM-868
PM-866
PM-864
PM-862
100
50
30(25 on ArF)
15(12 on ArF)
パルス幅 (ns)
(FWHM, nominal)
両シリーズ 12-20 
ビームサイズ (mm) (V*H,nominal) IPEX-840
シリーズ
8-12x26
IPEX-860
シリーズ
8-12x28
ビーム拡がり角 (mrad) (V*H,nominal) IPEX-840
シリーズ
1x3
IPEX-860
シリーズ
1x3
タイミングジッター(ns)  両シリーズ ±2
理化学用 PulseMaster840/860シリーズ仕様


発振ガス モデル XeCl
波長 (nm)  全モデル 308
最大パルスエネルギー
(mJ)
 全モデル 600
安定化平均出力
(W)
PM-888
PM-886
PM-884
PM-882
50
25
10
5
最大繰り返し周波数
(pps)
PM-888
PM-886
PM-884
PM-882
100
50
20
10
パルス幅 (ns)
(FWHM, nominal)
全モデル 14-26 
ビームサイズ (mm) (V*H,nominal) 12-17x29
ビーム拡がり角 (mrad) (V*H,nominal) 1.5×3.5
タイミングジッター(ns)  ±2
理化学用 PulseMaster880シリーズ仕様



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