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ビーム株式会社はレーザー光源及びレーザー加工装置の提案/試作加工を行っています。

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ダイシングブルーテープ用UV照射装置

●研究所やR&Dグループで利用できるコンパクトな卓上サイズ
●4,6,8インチウエハと9インチメインフレームまで対応
●5%以内の均一性で照射される365nmUV光

UV-KUB 9inchのイメージ



卓上UV照射装置 UV-KUB 9"

UV-KUB 9"(キューブ 9)は、ダイシング用ブルーテープ用に開発されたコンパクトで低価格なUV-LED照射装置です。ウォーミングアップを必要とせずに10000時間の長寿命LEDによってΦ9インチまでの基板(8インチウエハ+フレーム)に全面照射できます。ウエハーダイシング、バックグラインディングが必要な幅広い分野の研究開発部門において、手軽に省スペースでご利用いただけます。

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[特長]
 ・完全な単色光(線幅10nm以下)でウエハー全面露光
 ・コールドUV照射と照射表面のリアルタイム温度制御により熱影響なし
 ・強照度露光(145mW/cm2±5%)
 ・実使用時間10,000時間を越える長寿命LED
 ・タッチパネル操作による簡単な照射設定(連続/パルス照射、繰り返しなど)
 ・ウォーミングアップ時間不要
 ・直感的に操作できる簡単なUV強度の設定
 ・完全な閉空間UV照射でユーザーの安全を保障
 ・ウエハーの自動ロードアンロードシステム
 ・低消費電力


 UV-KUB 9"の仕様  
照射波長  365±5nm
表面照度  145mW/cm2 ±5%
 照射中の温度差  <2℃
照射回数(連続またはパルス)  1秒~18時間
照射条件保存数  10
 寸法 350×350×350mm
 重量 22kg
 カラータッチスクリーン  5.7インチ
 電源  110V/60Hz又は230V/50Hz *1
最大電力消費量  800W  
照射時間例 ADWILL D650 : 15秒
ADWILL D175 P370 : 45秒

*1  付属の小型トランスを使用して、100V、200V単相電源で利用できます。

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