超小型LED露光装置UV-KUBシリーズ

UV-KUBシリーズ

UV-KUB(キューブ)は、コンパクトで低価格なUV-LED露光装置です。ウォーミングアップを必要とせずに10000時間の長寿命LEDによってΦ4インチまでの基板に全面露光できます。オプティクス、バイオテクノロジー、マイクロマシン、1-2枚マスクレベルのフォトリソグラフィー、ウエハーボンディングなど幅広い分野の研究開発に利用されています。

UV-KUB 1

ソフトコンタクト

最小露光寸法2μm
波長365nm / 405nm
照度40mW/cm2±10%
熱影響温度<1°
連続照射時間1秒~18時間
サイクル記録数10
タッチパネルサイズ5.7インチ(14.5cm)
本体サイズ260x260x260mm
装置重量8.2kg

UV-KUB 2

プロキシミティ/ソフトコンタクト

露光波長365±5nm/405±5nm
照度40mW/cm² ±10%
熱影響温度1°C以下
連続照射時間18時間
サイクル記録回数10
サイズ260 x 260 x 260mm
重さ8.2 kg
試料厚み(前面照射時)ウエハ+レジストの最大厚み 11mmまで
試料厚み(マスク照射時)ウエハ+レジストの最大厚み 2mmまで
発散角2°以下
マスクサイズ(マスクホルダー使用時)125~127.3mm
試料サイズ100 x 100 mmまで

UV-KUB 3

UV-LED マスクアライナーシステム

UV-KUB3はアライナー機能を搭載したコンパクトで低価格なUV-LED照射装置です。波長は365nm、385nm、405nmから選択することが可能。 ウオーミングアップを必要とせずに10,000時間の長寿命LEDによってΦ4インチまでの基盤または100 x 100mmエリアに全面照射できます。 発散角を2度以下に抑えたコリメート光により、最小露光サイズは2μmを達成。 研究開発部門等において、手軽に省スペースでご利用頂けます。

特長

  • 完全な単色光(線幅10nm以下)でウエハー全面露光
  • コールドUV照射と照射表面のリアルタイム温度制御
  • 実使用時間10,000時間を超える長寿命LED
  • タッチパネル操作による簡単な照射設定(連続/パルス照射等)
  • ウオーミングアップ時間不要
  • ジョイスティックと高解像度タッチパネルによる位置合わせ
  • 完全な閉空間UV照射でユーザーの安全を保障
  • ウエハーの自動ロードアンドロードシステム
  • 低消費電力
最小露光寸法2μm
波長365nm
アライメント解像度5μm
照度30mW/cm2±10%
熱影響温度<1°
連続照射時間1秒~18時間
サイクル記録数10
タッチパネルサイズ15.6インチ(39.6cm)
本体サイズ480 x 480 x 480mm
装置重量55kg

UV-KUB9

ダイシングブルーテープ ディボンディング装置

UV-KUB9”(キューブ9インチ)はウエハーをダイシングブルーテープより剥離するために 開発されたコンパクトで低価格なUV-LED照射装置です。 ウオーミングアップを必要とせずに10,000時間の長寿命LEDによって Φ9インチまでの基盤(8インチウエハ+フレーム)に全面照射できます。 ウエハーダイシング、バックグラインディングが必要な幅広い 研究開発部門において、手軽に省スペースでご利用頂けます。

特長

  • 完全な単色光(線幅10nm以下)でウエハー全面露光
  • コールドUV照射と照射表面のリアルタイム温度制御
  • 強照度露光(145mW/cm2±5%)
  • 実使用時間10,000時間を超える長寿命LED
  • タッチパネル操作による簡単な照射設定(連続/パルス照射等)
  • ウオーミングアップ時間不要
  • 直観的に操作できる簡単なUV強度の設定
  • 完全な閉空間UV照射でユーザーの安全を保障
  • ウエハーの自動ロードアンドロードシステム
  • 低消費電力
照射波長365nm +/- 5nm
表面照度145mW/cm2 +/- 5%
照射中の温度差<2°
照射回数 (連続またはパルス)1秒 ~ 18時間
照射条忤保存数10
寸法350mmx350mmx350mm
重量22kg
カラータッチスクリーン5.7インチ
電源110V/60Hz または 230V/50Hz*
最大電力消費量800W
照射時間例ADWILL D650 : 15秒
ADWILL D175 P370 : 45秒