本文へスキップ

ビーム株式会社はレーザー光源及びレーザー加工装置の提案/試作加工を行っています。

TEL. 042-797-4141

営業時間:平日9:00~18:00まで

超小型LED露光装置

●26cmキューブ内に収めた超コンパクト露光装置。
●長寿命LEDのUV全面露光でウォーミングアップ不要。
●タッチパネル操作で簡単な露光設定。

Dilase250イメージ



超小型LED露光装置 UV-KUB

UV-KUB(キューブ)は、コンパクトで低価格なUV-LED露光装置です。ウォーミングアップを必要とせずに10000時間の長寿命LEDによってΦ4インチまでの基板に全面露光できます。オプティクス、バイオテクノロジー、マイクロマシン、1-2枚マスクレベルのフォトリソグラフィー、ウエハーボンディングなど幅広い分野の研究開発に利用されています。

[特長]
 ・完全な単色光(線幅10nm以下)でウエハー全面露光
 ・コールドUV照射と照射表面のリアルタイム温度制御により熱影響なし
 ・強照度露光
 ・実使用時間10,000時間を越える長寿命LED
 ・タッチパネル操作による簡単な照射設定(連続/パルス照射、繰り返しなど)
 ・ウォーミングアップ時間不要
 ・直感的に操作できる簡単なUV強度の設定
 ・完全な閉空間UV照射でユーザーの安全を保障
 ・ウエハーの自動ロードアンロードシステム
 ・低消費電力

お見積お問い合わせ
 UV-KUBの仕様   
分解能 2μm 
露光波長  365±5nm/385±5nm
 4インチウエハー表面照度  25mW/cm2 ± 10%
 露光中の温度差  <1℃
 露光回数(連続またはパルス)  1秒~18時間
 露光条件保存数  10
 寸法  260×260×260mm
 重量  8.2kg
 カラータッチスクリーン  5.7インチ
 電源  110V又は230V, 50Hz
最大電力消費量  180W  



 前の製品 次の製品 

バナースペース

ビーム株式会社

〒194-0215
東京都町田市小山ヶ丘2-2-5
まちだテクノパーク
センタービル6F

TEL 042-797-4141
FAX 042-797-4441