高出力スラブ型固体レーザーHDシリーズ

シリーズ最大の出力600WとパルスエネルギーHDシリーズ

HDシリーズはINNOSLABレーザーの中でも最大の出力とパルスエネルギーを発生させるレーザーです。パルス幅は最小で4ns、出力は最大で600W、パルスエネルギーは最大60mJ、パルス繰り返し数は最大150kHzにまで達します。用途に合わせた4波長(1064、532、355、266nm)のモデルがあり、主として高出力高パルスエネルギーを必要とするアプリケーションに適しています。

*装置仕様はご希望に合わせてカスタマイズされます。

ISシリーズ

最大出力200Wで広範囲な応用をカバーISシリーズ

ISシリーズはINNOSLABレーザーとしては中高出力域のモデルでDXシリーズのほぼ半分の出力を発生します。すなわち最小4nsのパルス幅、150kHzの最大パルス繰返し数は上記2モデルと同等ながら、最大出力は200W、最大パルスエネルギーは30mJとなります。用途に合わせた4波長(1064、532、355、266nm)のモデルがあり、主として中/高出力を必要とするアプリケーションに適しています。

*装置仕様はご希望に合わせてカスタマイズされます。

理化学用途

  • 流速計測(PIV/PTV)用光源
  • レーザー励起蛍光分析(LIF)用根源
  • プラズマ発生光源
  • 加工用途: 各種微細加工, 金属、セラミック、シリコン、強化ガラス等 薄膜パターニング、太陽電池、液晶等
波長[nm]1064532355266
ビーム品質 M2<1.3<1.31.62
最大平均出力 [W]4002007020
最大繰り返し周波数 [kHz]1501502020
最大パルスエネルギー [mJ]6030154
パルス幅典型値 [ns]<10<10<10<10
レーザーヘッド重量 [kg]17171717

*レーザーヘッド寸法: 650mm x 178mm x 157mm

BXシリーズ

最大出力80Wでシリーズ最小寸法BXシリーズ

BXシリーズは、INNOSLABレーザーとしては低中出力域のモデルで、最大80W、最大パルスエネルギー8mJを発生します。ヘッドサイズはL420×W190×H110mmと非常にコンパクトです。

*装置仕様はご希望に合わせてカスタマイズされます。

波長[nm]IRGreenUVDUV
ビーム品質 M2<1.1<1.11.62
最大平均出力 [W]8040126
最大繰り返し周波数 [kHz]1001001010
最大パルスエネルギー [mJ]731.51
パルス幅典型値 [ns]<10<10<10<10
レーザーヘッド重量 [kg]17171717

*レーザーヘッド寸法: 420mm x 190mm x 110mm