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| 産業用エキシマレーザー IPEX-840 / 860 Series |
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製造に要求される厳しい環境にも対応できるように設計されたIPEXシリーズは、非常に優れた加工を行うことの出来る高出力エキシマレーザーです。
GSIルモニクスから引き継がれたICON (Integrated Ceramic on Nickel)テクノロジーにより、 IPEXシリーズは非常に優れたガス寿命と高い光学安定性をもち、レーザーオペレーション時のパラメーターを精密に制御することが出来ます。オペレーションが易しく、メンテナンスがシンプルで経済的なIPEX-800シリーズは、トータルコストを最小限に抑えて、長期間の運転を可能としています。セラミックスのマーキングから微細加工まで、このレーザーの応用範囲は多岐にわたっています。
IPEX800シリーズでは不安定共振器を使用してビーム拡がり角を小さく押さえることにより、優れた集光スポット品質を得ることも出来ます。
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| 発振ガス |
モデル |
ArF |
KrF |
XeCl |
XeF |
| 波長 (nm) |
* |
193 |
248 |
308 |
351 |
| 安定化パルスエネルギー (mJ) |
IPEX-840 Series |
150 |
400 |
250 |
225 |
| IPEX-860 Series |
200 |
600 |
350 |
300 |
| 安定化平均出力 (W) |
IPEX-848
IPEX-846 |
30
15 |
80
40 |
50
25 |
45
22 |
IPEX-866
IPEX-864 |
20
10 |
60
30 |
35
18 |
30
15 |
| 最大繰り返し周波数Rate(pps) |
IPEX-848
IPEX-846 |
200
100 |
IPEX-866
IPEX-864 |
100
50 |
| パルス幅 (ns) (FWHM, nominal) |
12-20 |
| ビームサイズ (mm) (V*H,nominal) |
IPEX-840 Series |
12x26 |
| IPEX-860 Series |
12x28 |
| ビーム拡がり角 (mrad) (V*H,nominal) |
IPEX-840 Series |
1x3 |
| IPEX-860 Series |
1.5x4 |
IPEX-840/860シリーズ仕様
理化学用エキシマレーザーPulseMaster-800 Series |
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PulseMaster シリーズは193, 248, 308, 351nm の波長で高出力、高パルスエネルギーを得られるように設計されたエキシマレーザーです。 高品質のビーム、安定したエネルギー、優れたポインティングスタビリティは、実験、試作加工などでレーザーパラメーターを正確にコントロールするのに理想的なレーザーです。
Total Metal Ceramic,
TMC?, 構造は長いガス寿命と低ランニングコストを実現しました。パワフルなマイクロプロセッサにより、エネルギーを安定化させ、メインテナンスをルーチンによる自動制御で、よりたやすく行うことが出来ます。.
応用例として、DWDMアプリケーション用のファイバ・ブラッグ・グレーティング製造、フレキシブル回路のポリマー層アブレーション、・セラミックスや窒化材料の微細加工、ポリウレタンカテーテルのような医療用プラスチック材料の加工と金属薄膜のパターニングなどがあります.
PulseMaster800シリーズでは不安定共振器を使用してビーム拡がり角を小さく押さえることにより、優れた集光スポット品質を得ることも出来ます。
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| 発振ガス |
* |
ArF |
KrF |
XeCl |
XeF |
| 波長 (nm) |
* |
193 |
248 |
308 |
351 |
| 安定化パルスエネルギー (mJ) |
* |
250 |
650 |
400 |
350 |
| 安定化平均出力 (W) |
PM-848
PM-846
PM-844
PM-842 |
30
15
6
3 |
80
40
20
10 |
50
25
12
6 |
45
22
11
6 |
| 最大繰り返し周波数Rate(pps) |
PM-848
PM-846
PM-844
PM-842 |
200
100
40
20 |
200
100
50
25 |
200
100
50
25 |
200
100
50
25 |
| パルス幅 (ns) (FWHM, nominal) |
12-20 |
| ビームサイズ (mm) (V*H,nominal) |
8-12ｘ28 |
| ビーム拡がり角 (mrad) (V*H,nominal) |
1x3 |
| タイミングジッター(ns) |
±2 |
PM-840シリーズ仕様
| 発振ガス |
* |
ArF |
KrF |
XeCl |
XeF |
* |
XeCl |
| 波長 (nm) |
* |
193 |
248 |
308 |
351 |
* |
308 |
| 安定化パルスエネルギー (mJ) |
* |
250 |
650 |
400 |
350 |
* |
600 |
| 安定化平均出力 (W) |
PM-866
PM-864 |
30
5 |
80
15 |
50
10 |
45
9 |
PM-888
PM-886
PM-884
PM-882 |
50
25
10
5 |
| 最大繰り返し周波数Rate(pps) |
PM-866
PM-864 |
50
25 |
50
25 |
50
25 |
50
25 |
PM-888
PM-886
PM-884
PM-882 |
100
50
20
10 |
| パルス幅 (ns) (FWHM, nominal) |
12-20 |
14-26 |
| ビームサイズ (mm) (V*H,nominal) |
8-12ｘ28 |
12-17x29 |
| ビーム拡がり角 (mrad) (V*H,nominal) |
1x3 |
1.5x3.5 |
| タイミングジッター(ns) |
±2 |
±2 |
PM-860/880シリーズ仕様
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