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小型エキシマレーザー　ATLEX-300SI / 500SI
ATLEX-300SI は繰り返し数300Hz、500SI は繰り返し数500Hzの小型エキシマレーザーです。発振パルスは4X6mmと小さいですが、パルス幅が4～6nsと非常に短いので、大型のエキシマレーザーにも劣らない、加工対象によってはより優れた加工性を示します。空冷なので冷却水が必要ない他、筐体が540X470X370mmとコンパクトなので、加工装置の中に設置することもできます。小さな設置面積で紫外パルス光による加工を行うには最適なレーザーです。 小型エキシマ搭載加工機をみる ATLEX-300SI 　 発振ガス ArF KrF 波長 (nm) 193 248 モデル 300SI 500SI 300SI 500SI 最大平均出力 (W) 3.0 5.0 5.4 9.0 最大エネルギー (mJ/pulse) 10 18 最大繰り返し周波数　(Hz) 300 500 300 500 パルス幅 (ns) 4 - 6 ビームサイズ (mm) 4 X 6 冷却方法 空冷 寸法 (mm) 540 X 470 X 370 重量 (kg) 50
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